特許
J-GLOBAL ID：200903043749652299
ウエハ用ピンセット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-347549
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168181
出願日： 1999年12月07日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：
【要約】【課題】 大径ウエハを安定した状態で保持できるウエハ用ピンセットを提供する。【解決手段】 ウエハ用ピンセット10は一対のピンセット片11、12を有する。ピンセット片の先端部はウエハの外周に沿って弧状に伸びる弧状先端部13、14として形成されている。これら弧状先端部はウエハの外周の約4分の1から約6分の1の長さを有し、ウエハに対向する面に高摩擦係数の摩擦部材16,17を有する。このピンセットは、一方のピンセット片を他方のピンセット片から離れる方向に移動したときにそれぞれのピンセット片の弧状先端部が接近してウエハを保持できる。逆に、一方のピンセット片を他方のピンセット片に向けて移動したときにそれぞれのピンセット片の弧状先端部が互いに離間してこれら弧状先端部の間に保持されているウエハを解放できる。
請求項（抜粋）：
一対のピンセット片を操作し、これら一対のピンセット片の先端部でウエハを保持するためのウエハ用ピンセットにおいて、上記一対のピンセット片の先端部は、上記ウエハの外周に沿って弧状に伸びる弧状先端部として形成され、上記弧状先端部はそれぞれ上記ウエハの外周の約4分の1から約6分の1の長さを有し、上記弧状先端部はそれぞれ上記ウエハに対向する面に高摩擦係数の摩擦部材を有し、上記一対のピンセット片は、一方のピンセット片を他方のピンセット片に向けて移動したときにそれぞれのピンセット片の弧状先端部が互いに接近して上記ウエハを保持でき、逆に、一方のピンセット片を他方のピンセット片から離れる方向に移動したときにそれぞれのピンセット片の弧状先端部が互いに離間してこれら弧状先端部の間に保持されているウエハを解放できるように構成されていることを特徴とするウエハ用ピンセット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
3C020UU03
, 3C020UU08
, 5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031GA68
