特許

J-GLOBAL ID：200903043751721451

環状アルキレンカーボネートの洗気による削減方法

発明者： ギャリー・エス・クセナク
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-156419
公開番号（公開出願番号）：特開平6-071131
出願日： 1993年06月28日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【目的】 電子回路パッケージのリソグラフィによる回路形成において生じる、環状アルキレンカーボネート現像剤または剥離剤の蒸気からプロピレンカーボネートを除去する方法を提供すること。【構成】 現像剤または剥離剤の一方または両方として使用される環状アルキレンカーボネートは蒸気圧が低く高沸点であるが、リソグラフィ工程11中に環状アルキレンカーボネートを含む蒸気が発生する。そこで、環状アルキレンカーボネートを含む空気をプロセスから取り出し、ガス・スクラバ21において水性アルカリ性液体中に通すことによって、環状アルキレンカーボネートを空気から洗気除去する。【効果】 本発明によれば、洗気済みの、環状アルキレンカーボネートを実質上含まない空気がプロセスから回収される。

請求項（抜粋）：

レジストの現像剤またはレジストの剥離剤のどちらか一方または両方に環状アルキレンカーボネートを含み、電子回路パッケージの製造中にガス状の環状アルキレンカーボネートが発生する、電子回路パッケージの製造方法であって、a.プロセスから環状アルキレンカーボネートを含む蒸気を除去するステップと、b.前記環状アルキレンカーボネートを含む蒸気を水性アルカリ性液体中に通して、そこから環状アルキレンカーボネートを洗気除去するステップと、c.環状アルキレンカーボネートを実質上含まない洗気済みの空気を回収するステップとを含む方法。

IPC (7件)：

B01D 53/18 ZAB ,  B01D 53/14 ZAB ,  B01D 53/14 103 ,  B01D 53/34 120 ,  G03F 7/32 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 361 L ,  H01L 21/30 361 R