特許

J-GLOBAL ID：200903043752056362

有機系光学薄膜の製造法とその装置

発明者： 平賀 隆 ,  守谷 哲郎 ,  田中 教雄
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  新技術事業団 ,  大日精化工業株式会社
代理人 (2件)： 西澤 利夫 (外1名) ,  西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-052102
公開番号（公開出願番号）：特開平6-306181
出願日： 1993年03月12日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：

【要約】【構成】 溶液または分散液状態の有機系光学材料を高真空容器内に噴霧して基板上に堆積させ、加熱処理する。また、必要に応じてさらに加圧処理する。【効果】 より低温度において、光学材料の熱分解をもたらすことなく微細構造制御された高品質、高機能な有機系光学薄膜が形成される。

請求項（抜粋）：

溶液または分散液状態の有機系光学材料を高真空容器内に噴霧して基板上に堆積させ、加熱処理することを特徴とする有機系光学薄膜の製造法。

IPC (3件)：

C08J 5/00 ,  G02B 1/04 ,  G02F 1/35 504

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-151039
  
• 特開平2-281029
  
• 特開平4-099609