特許
J-GLOBAL ID:200903043752570457

電子源内蔵真空気密容器およびゲッターの活性化方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 脇 篤夫 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-011838
公開番号(公開出願番号):特開平10-199453
出願日: 1997年01月08日
公開日(公表日): 1998年07月31日
要約:
【要約】【課題】 内部を高真空に保持することのできるゲッターを収納するゲッターボックスの厚みを薄くすることができる電子源内蔵真空気密容器を提供する。【解決手段】 カソード基板1の左端からさらに左に突き出すように図示上下方向に長いゲッターボックス3が設けられている。このゲッターボックス3は、底板3bと側板3aに囲まれて形成されている。カソード基板1の下面側に非蒸発型ゲッター11が収納されている。非蒸発型ゲッター11は、中心に通電により発熱するニクロム線等の抵抗加熱体11bを有し、その周囲にZr-Al合金よりなる粉末を焼結させることにより、略円柱状で長い非蒸発型ゲッター本体部11aを形成したものである。
請求項(抜粋):
電子源が形成されカソード電極を有する第1の基板と、該第1の基板に対し電子放出方向に所定間隔をおいて設けられ一端が該第1の基板の一端より突き出た第2の基板と、前記第1の基板の前記一端を間にして前記第2の基板の突き出し部分と対向して設けられ排気管に連通する孔を有する底板と、該底板と前記第1および第2の基板との間に側板を有し、内部が真空状態にされた電子源内蔵真空気密容器であって、非蒸発型ゲッターが前記第1の基板と前記底板との間に収納され、前記非蒸発型ゲッターを通電加熱する電源供給線が前記第1の基板の前記底板側を通って外部に引き出されることを特徴とする電子源内蔵真空気密容器。
IPC (2件):
H01J 29/94 ,  H01J 31/12
FI (2件):
H01J 29/94 ,  H01J 31/12 C

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