特許
J-GLOBAL ID：200903043753556202
反射率測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-087636
公開番号（公開出願番号）：特開平9-250966
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：
【要約】【課題】広い波長範囲、特に紫外線領域や真空紫外線領域で、光学表面の反射率を測定することができる装置を提供する。【解決手段】光路分離部材5を介して光学表面7に入射光を集光し、光学表面7からの反射光を光路分離部材5によって入射光から分離し、該分離された反射光に基づいて光学表面7の反射率を測定する反射率測定装置において、光路分離部材5は、入射光を透過する透過領域5aと反射光を反射する反射領域5bとを有し、透過領域5aを透過した入射光による反射光が、反射領域5bによって反射するように、透過領域5aと反射領域5bとを配置したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
光路分離部材を介して光学表面に入射光を集光し、光学表面からの反射光を前記光路分離部材によって前記入射光から分離し、該分離された反射光に基づいて前記光学表面の反射率を測定する反射率測定装置において、前記光路分離部材は、前記入射光を透過する透過領域と前記反射光を反射する反射領域とを有し、前記透過領域を透過した入射光による反射光が、前記反射領域によって反射するように、前記透過領域と反射領域とを配置したことを特徴とする反射率測定装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01M 11/00 L
, G01M 11/00 M
, G01N 21/55
