特許

J-GLOBAL ID：200903043755485728

ラザフォード後方散乱分析装置およびスペクトル解析装置

発明者： 磯辺 裕介 ,  橋本 素行 ,  布施 元正 ,  茂中 尚登
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-009274
公開番号（公開出願番号）：特開平5-205694
出願日： 1992年01月22日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：

【要約】【目的】 ラザフォード後方散乱分析装置等において、試料中の全成分の同定と、質量の接近した成分の弁別、及び高精度の深さ方向組成分析を同時に行なうことを可能とする。【構成】 散乱イオン検出部として、低分解能用検出器5と、磁場発生コイル6と位置検出器7より成る高分解能用検出器の二種の検出器を設ける。そして、これら検出器からの信号により、表示装置9に全エネルギー範囲の低分解能エネルギースペクトルと、任意のエネルギー範囲の高分解能エネルギースペクトルと、を同時にまたは切り替えて表示する。

請求項（抜粋）：

イオン源からのイオンを加速するイオン加速器と、前記加速されたイオンをイオンビームとして試料に照射する真空容器と、前記試料に照射後に散乱したイオンのエネルギースペクトルを測定する測定手段と、その測定結果を表示する表示手段と、を備えたラザフォード後方散乱分析装置において、前記測定手段で測定した散乱イオンエネルギースペクトルのうち、所定のエネルギー範囲の散乱イオンエネルギースペクトルと、該スペクトルの任意の部分をより高いエネルギー分解能で表わした散乱イオンエネルギースペクトルと、を前記表示手段に同時に表示する手段を設けたことを特徴とするラザフォード後方散乱分析装置。

IPC (2件)：

H01J 49/30 ,  G01N 23/203

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-045721
  
• 特開平4-001545
  
• 特公昭58-017421