特許
J-GLOBAL ID：200903043761782300
レーザを用いた微量成分計測手法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-292288
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132741
出願日： 1996年11月05日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 気体,液体,固体物質中に含まれるNa,Cl,Mg等の微量成分のin-situ計測を可能とし、計測の自動化、高精度化により、各種プラントの安全運転,余寿命予測などを可能とすることにある。【解決手段】 気体、液体、固体物質中に含まれる微量成分を検出するに際して、第一のレーザ光を気体、液体、固体物質に集光し、物質中の成分をプラズマ化させ、プラズマを生成させてから一定時間後に誘起されたプラズマ中に、検出すべき成分の電子エネルギー差に対応した波長を持つ第二のレーザ光を入射し、プラズマ中に存在する検出すべき成分をレーザ励起し、第一のレーザ光照射により発生するプラズマ光を検出し、プラズマ部に存在する成分組成及びプラズマ温度を同定すると共に、第二のレーザ光照射により励起された測定対象成分が発する蛍光強度を光検出器を用いて検出し、測定対象成分が発する蛍光強度をプラズマ部に存在する成分組成及びプラズマ温度で補正することにより、気体、液体、固体物質中に存在する微量成分の濃度を測定することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
気体、液体、固体物質中に含まれる微量成分を検出するに際して、第一のレーザ光を気体、液体、固体物質に集光し、物質中の成分をプラズマ化させ、プラズマを生成させてから一定時間後に誘起されたプラズマ中に、検出すべき成分の電子エネルギー差に対応した波長を持つ第二のレーザ光を入射し、プラズマ中に存在する検出すべき成分をレーザ励起し、第一のレーザ光照射により発生するプラズマ光を検出し、プラズマ部に存在する成分組成及びプラズマ温度を同定すると共に、第二のレーザ光照射により励起された測定対象成分が発する蛍光強度を光検出器を用いて検出し、測定対象成分が発する蛍光強度をプラズマ部に存在する成分組成及びプラズマ温度で補正することにより、気体、液体、固体物質中に存在する微量成分の濃度を測定することを特徴とするレーザを用いた微量成分計測手法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/63 A
, G01N 21/64
