質量分析装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北澤一浩 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-172629
公開番号（公開出願番号）：特開2001-351565
出願日： 2000年06月08日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】電磁波や高速粒子が電子増倍部内に進入することを良好に防止し、取扱いの便利な質量分析器の提供。【解決手段】下部金属板13には、イオン入射口11aから入射した電磁波や高速粒子を出射させるための出射口13aが形成されている。下部金属板13の出射口13aは、上部金属板11に形成されたイオン入射口11aより大きく、イオン入射口11aは、下部金属板13に形成された出射口13aの中心軸X1方向投射像に含まれるよう形成されている。上部金属板11は四重極電極410の中心軸X2とイオン検出器1の中心軸X1が一致するように備えられるから、イオン検出器本体10が質量分析器100に取付けられる際には、イオン化部300から四重極電極410の中心軸X2方向を見ると、イオン検出器1の上部金属板11のイオン入射口11aから下部金属板13の出射口13aを通じてイオン検出器1の外部を見通すことができる。

請求項（抜粋）：

分子をイオンに変換するためのイオン化部と、イオン化した分子のうち所定の質量のもののみを分離するための質量分離部と、質量分離部から出射されるイオンの量を検出するためのイオン検出器とを有する質量分析装置において、該イオン検出器は、イオン入射口が形成された上部金属板と、該上部金属板から垂直に延び、荷電粒子通過口が形成された支持金属板と、該上部金属板と平行に配置され、該支持金属板の該上部金属板が接続された側とは反対側の端部に固定された下部金属板と、該支持金属板の一面側で該荷電粒子通過口を臨む位置に設けられたコンバージョンダイノードと、該イオン入射口から入射したイオンを該コンバージョンダイノードに向けて偏向させるための電界形成手段と、該支持金属板の一面側とは反対の他面側に着脱可能に固定された電子増倍部とを有し、該電子増倍部は、互いに平行に配設された一対の絶縁板と、該一対の絶縁板に挟持されたアノード電極と複数のダイノード電極とを有し、該下部金属板には、該上部金属板に形成された該イオン入射口より大きい出射口が形成され、該イオン入射口は、該上部金属板に垂直な仮想軸を想定すると、該下部金属板に形成された出射口の仮想軸方向投射像に含まれることを特徴とする質量分析装置。

IPC (3件)：

H01J 49/06 , G01N 27/62 , H01J 49/42

FI (4件)：

H01J 49/06 , G01N 27/62 L , G01N 27/62 C , H01J 49/42

Fターム (4件)：

5C038FF04 , 5C038FF10 , 5C038HH19 , 5C038JJ09

引用特許：

審査官引用 (3件)

イオン検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-359024 出願人：株式会社島津製作所
電子増倍管
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-127690 出願人：浜松ホトニクス株式会社
電子増倍管
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-127702 出願人：浜松ホトニクス株式会社

前のページに戻る