特許
J-GLOBAL ID：200903043767914365
電子顕微鏡観察用試料の作成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 孝治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-267993
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213785
出願日： 1992年09月09日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 非常に高い位置合わせ精度を有しながら、特定領域を電子顕微鏡による異なる複数の方向から観察することができる試料を形成する。【構成】 同一観察用試料の特定領域11を断面と平面との両方向から観察可能な電子顕微鏡観察用試料を作成する方法であって、電子顕微鏡観察を必要とする材料に対して、高倍率の光学顕微鏡を装着した高速回転外周刃加工装置を用いて光学顕微鏡で観察しながら電子顕微鏡に装着可能な幅に材料を切断する工程(A)と、特定の場所に刻印12を施す工程(B)と、電子顕微鏡に装着可能な幅に切り出された材料が凹字形状或いはL字形状等の溝型形状になるように加工する工程(D〜E)と、収束荷電粒子ビームによるエッチングにより凹字形状の底面或いはL字形状の材料の元々の表面を材料の表面と材料の幅とを部分的にさらに薄片化する工程(F〜G)とを有している。
請求項（抜粋）：
同一観察用試料の特定領域を断面と平面との両方向から観察可能な電子顕微鏡観察用試料を作成する方法において、電子顕微鏡観察を必要とする材料に対して、高倍率の光学顕微鏡を装着した高速回転外周刃加工装置を用いて前記光学顕微鏡で観察しながら電子顕微鏡に装着可能な幅に前記材料を切断する工程と、特定の場所に刻印を施す工程と、前記電子顕微鏡に装着可能な幅に切り出された材料が凹字形状或いはL字形状等の溝型形状になるように加工する工程と、収束荷電粒子ビームによるエッチングにより前記凹字形状の底面或いはL字形状の材料の元々の表面を材料の表面と材料の幅とを部分的にさらに薄片化する工程とを具備したことを特徴とする電子顕微鏡観察用試料の作成方法。
IPC (3件)：
G01N 1/28
, H01J 37/20
, H01L 21/302
