特許
J-GLOBAL ID：200903043769707715

圧力検出装置用パッケージ

発明者：
木野村 浩司

木野村 浩司 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-122074
公開番号（公開出願番号）：特開2003-315190
出願日： 2002年04月24日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：
【要約】【課題】 セラミック板に大きな反りがないとともにクラックが発生しにくく、小型、高感度で外部の圧力を正確に検出可能な圧力検出装置を提供すること。【解決手段】 一方の主面に半導体素子5が搭載されるセラミック基体1の他方の主面に静電容量形成用の第一メタライズ電極9を設けるとともに、内側面に第一メタライズ電極9に対向する第二メタライズ電極10を有するセラミック板3をセラミック基体1の他方の主面に、この主面との間に密閉空間Sを形成するようにセラミック枠体2を介して可撓な状態で焼結一体化させた圧力検出装置用パッケージであって、セラミック板3は、その外側主面にセラミック枠体2の内径より大きな内径を有する補助セラミック枠体4が積層されている。
請求項（抜粋）：
一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有するセラミック基体と、該セラミック基体の表面および内部に配設されており、前記半導体素子の各電極が電気的に接続される複数のメタライズ配線導体と、前記セラミック基体の他方の主面に該他方の主面との間に密閉空間を形成するようにセラミック枠体を介して可撓な状態で焼結一体化されたセラミック板と、前記密閉空間内のセラミック基体表面に被着され、前記メタライズ配線導体の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一メタライズ電極と、前記セラミック板の内側主面に前記第一メタライズ電極と対向するように被着され、前記メタライズ配線導体の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第二メタライズ電極とを具備して成る圧力検出装置用パッケージであって、前記セラミック板は、その外側主面に前記セラミック枠体の内径よりも大きな内径を有する補助セラミック枠体が積層されていることを特徴とする圧力検出装置用パッケージ。
IPC (2件)：
G01L 9/00 305 ,  H01L 29/84
FI (2件)：
G01L 9/00 305 H ,  H01L 29/84 Z
Fターム (20件)：
2F055AA40 ,  2F055BB01 ,  2F055CC02 ,  2F055DD09 ,  2F055EE25 ,  2F055FF43 ,  2F055GG11 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA16 ,  4M112DA18 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112EA14 ,  4M112FA01 ,  4M112FA06 ,  4M112FA07 ,  4M112FA08 ,  4M112FA10 ,  4M112GA01
引用特許：
審査官引用 (7件)
  • 安定化圧力センサ
    公報種別：公表公報   出願番号：特願平7-526914   出願人：セカツプ・アー・ベー
  • 特開昭63-292032
  • 特開昭63-292032
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