特許
J-GLOBAL ID：200903043777256030
2方向周期微細格子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
縣 浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-355832
公開番号（公開出願番号）：特開平6-186410
出願日： 1992年12月18日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】 縦横2方向に周期的な微細格子を製作する。【構成】 基板にホトレジスト層を設け、ホログラフィック露光法で干渉縞を焼き付け、同様の操作を干渉縞の向きを交差させて行って、ホトレジストによる格子パターンを形成し、斜方向よりイオンビームエッチングを行って図1に示すように平行した溝の底面が傾いてかつ深さが周期的に変化する微細格子を得た。
請求項（抜粋）：
交差する二方向の溝を有し、少なくとも一方向の溝の断面形が鋸歯状であり、この鋸歯状の形に沿って上記溝と交差する方向の溝が形成されていることを特徴とする2方向周期微細格子。
引用特許：
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