特許
J-GLOBAL ID:200903043779312077

ガス流量の広範囲制御方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高矢 諭 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-199369
公開番号(公開出願番号):特開平6-043941
出願日: 1992年07月27日
公開日(公表日): 1994年02月18日
要約:
【要約】【目的】 ガスの流量を極めて広い範囲に亘って高精度に制御する。【構成】 低流量から高流量迄、広い流量範囲に亘って高精度の流量測定が可能な超音波パルス伝播時間逆数差演算方式の超音波流量計をガス配管の内部に設けてガス流量を検出すると共に、該ガス配管内を流れるガスの温度及び圧力を検出し、該ガス流量、温度及び圧力からガス流量の制御目標値を求め、前記ガス配管に配設した、制御範囲の広い回転プラグ弁によりガス流量を調節する。
請求項(抜粋):
ガス配管の内部に設けた超音波パルス伝搬時間逆数差演算方式の超音波流量計で該ガスの流量を検出すると共に、前記ガス配管内を流れるガスの温度及び圧力を検出し、前記ガス流量、温度および圧力からガス流量の制御目標値を求め、前記ガス配管に配設した回転プラグ弁を用いて前記ガス配管内を流れるガスの流量を調節することにより、前記ガスの流量を広範囲に制御することを特徴とするガス流量の広範囲制御方法。
IPC (3件):
G05D 7/06 ,  G01F 1/66 101 ,  G01F 15/02

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