角速度センサおよび角速度センサの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：有我軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-206083
公開番号（公開出願番号）：特開2002-022448
出願日： 2000年07月07日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】本発明は、角速度の検出精度を高める。【解決手段】突起状の固定部22a、22bが形成された基台22と、基台22から立設して対向配置される励振軸23および検出軸24と有する圧電セラミックスから構成された音叉振動子21を備え、励振軸23の分極方向として、励振軸23の表裏面の励振電極25a、25cと励振電極25b、25dとで分極方向が互いに逆方向になるように面垂直分極を行ない、検出軸24の分極方向として、検出軸24の表裏面の両側の検出電極26a、26c、26d、26fでは裏表面で逆方向の面垂直分極を行なうとともに、検出軸24の表裏面の中央の検出電極26b、26eでは両側の検出電極26a、26c、26d、26fとの間で中央の検出電極26b、26eが零電位となるような面内分極を行なう。

請求項（抜粋）：

突起状の固定部が形成された基台と、前記基台から立設されて対向配置される第1励振軸および第1検出軸とを有する圧電素子から構成された音叉振動子を備え、前記第1励振軸および第1検出軸が近接離隔する面内方向に前記音叉振動子を励振させるとともに、前記励振状態で前記音叉振動子の中心軸と同方向を回転軸とした角速度が印加されたときに、前記励振方向と略直交する方向に発生するコリオリ力を前記音叉振動子の面垂直方向の撓みとして検出するようにした角速度センサにおいて、前記第1励振軸の分極方向として、前記第1励振軸の表裏面の複数対の対向電極で分極方向が互いに逆方向になるように面垂直分極を行ない、前記第1検出軸の分極方向として、前記第1検出軸の表裏面の両側の対向電極では表裏面で逆方向の面垂直分極を行なうとともに、前記第1検出軸の表裏面の中央の対向電極では前記両側の対向電極との間で前記中央の対向電極が零電位となるような面内分極を行なうことを特徴とする角速度センサ。

IPC (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 , H01L 41/22

FI (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 Z , H01L 41/22 Z

Fターム (7件)：

2F105AA02 , 2F105AA03 , 2F105AA10 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13

前のページに戻る