特許
J-GLOBAL ID：200903043787183510
非接触型移動テーブル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-257568
公開番号（公開出願番号）：特開平6-085040
出願日： 1992年09月02日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】構造が簡単で軸受面が少なく、小型化、軽量化及びコスト低減並びに使用材料の範囲が広い非接触型移動テーブルを提供する。【構成】平面な上面と該上面に直角な平面との2面をガイド面20a、20bとするガイドテーブル20と、ガイドテーブル20のガイド面20a、20bに対応した2面の移動面22a、23aを有し、ガイド面20a、20bに移動面22a、23aが対向して配置された移動テーブル21とを備え、ガイドテーブル20のガイド面20a、20bとガイド面20a、20bに対向した移動テーブル21の移動面22a、23aの対応した両面には、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、ガイド面20a、20b又は移動面22a、23a又はの何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、ガイドテーブル20のガイド面20a、20bと移動テーブル21の移動面22a、23aとで非接触剛性軸受を構成した2面の非接触剛性軸受を有して成る。
請求項（抜粋）：
平面な上面と該上面に直角又はある角度を有する平面との2面をガイド面とするガイドテーブルと、このガイドテーブルの2面のガイド面に対応した2面の移動面を有し、ガイド面に移動面が対向して配置された移動テーブルとを備え、ガイドテーブルのガイド面とこのガイド面に対向した移動テーブルの移動面の対応した両面には、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、移動面又はガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、ガイドテーブルの2面のガイド面と移動テーブルの2面の移動面とで非接触剛性軸受を構成した2面の非接触剛性軸受を有して成ることを特徴とする非接触型移動テーブル。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 1/18
, B23Q 1/26
