特許
J-GLOBAL ID:200903043791665929

量子効果型電界効果トランジスタ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-182130
公開番号(公開出願番号):特開平5-029616
出願日: 1991年07月23日
公開日(公表日): 1993年02月05日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 量子効果型電界効果トランジスタを高速で抵消費電力の集積回路を容易に製作し、動作させる。【構成】 禁止帯幅3eV以上の半導体のp-n接合に流れるトンネル電流をゲート絶縁膜4を介して設けられたゲート電極5からの電界によりトランジスタ動作させる。
請求項(抜粋):
GaN,BN,BP,SiC,ZnO,ZnS,ダイアモンド及びTiO2 等の酸化物半導体等の禁止帯幅が3eV以上の半導体表面にはp-n接合部が終端を有して形成され、該p-n接合部の終端部表面にはゲート絶縁膜が形成され、該ゲート絶縁膜上にはゲート電極が形成されて、MIS型FETが形成されて成る事を特徴とする量子効果型電界効果トランジスタ。
IPC (2件):
H01L 29/784 ,  H01L 29/06
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭63-248163

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