露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-332969
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167569
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】本発明は、露光装置において、外部から搬入する感光基板のサイズが増加しても、設置する際の占有面積の増加を小さく抑えかつ感光基板の搬送及び交換を高速にし得るようにする。【構成】起立手段(4)によつて、水平に搬入された感光基板(2)を鉛直に起立させ、起立手段(4)の上方に配設された搬送手段(29及び30)によつて、鉛直に保持した感光基板(2)を基板ステージ(8)の鉛直な保持面(11)に直線移動して保持させる。これにより、多軸の搬送系を関節ロボツトに比して一段と狭い水平の占有面積で小型に構成できる。

請求項（抜粋）：

感光基板を露光する露光装置において、前記感光基板を保持する保持面が鉛直に配置された基板ステージと、外部から搬入された前記感光基板を、該感光基板の面内方向がほぼ鉛直となるように起立させる起立手段と、前記起立した感光基板を前記基板ステージの前記保持面に搬送する搬送手段とを具えることを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , G03F 9/00 , H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 515 G , H01L 21/30 513

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