特許
J-GLOBAL ID：200903043800206150
流量センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-132555
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321108
出願日： 1999年05月13日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：
【要約】【課題】 熱式流量センサにおいて、その測定素子のダイヤフラム膜が熱変形して反ったり、外圧によりたわんだ場合にもヒーターの抵抗温度特性に起因する抵抗変化を精度良く取り出すことを可能とする。【解決手段】 流体の流量を電気信号として取出す流量センサにおいて、測定素子1aは、ダイヤフラム膜2において流体の流量に応じて抵抗値が変化する発熱ヒータ部分3を二層構造に形成し、各層においてヒータ回路3aとヒータ回路3bをそれぞれ形成する。そのとき、各ヒータ回路3a、3bはダイヤフラム膜2の厚さ方向の中心に対して上下に対称な位置に形成され、直列接続される。直列接続されたヒータ回路3a、3b対は、発熱ヒータ部分3の抵抗変化を電気信号として取出すためのブリッジ回路7aの一辺を構成する。
請求項（抜粋）：
流体により冷却されることにより抵抗値が変化する発熱部を設けたダイヤフラム膜を有した測定素子を備え、該測定素子の発熱部の抵抗値変化を電気信号として取出して流体の流量を測定する流量センサにおいて、前記ダイヤフラム膜の発熱部を偶数の層構造とし、該偶数の層を前記ダイヤフラム膜の厚さ方向の中心に対して上下に対称な位置にそれぞれ設け、各層において、少なくとも1つの発熱抵抗回路を形成し、さらに、該発熱抵抗回路は対称位置にある層の発熱抵抗回路と等位置に同形状で形成され、対称関係にある上下層の間で等位置にある発熱抵抗回路どうしが直列接続されて抵抗対を形成し、該抵抗対は前記電気信号を取出すために構成されるブリッジ回路の一辺となることを特徴とする流量センサ。
IPC (3件)：
G01F 1/68
, F02D 35/00
, G01P 5/12
G01F 1/68
, G01P 5/12 M
, F02D 35/00 366 E
