特許

J-GLOBAL ID：200903043801096596

画像のアライメント補正方法

発明者： 信太 総一 ,  栗原 正行
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-119226
公開番号（公開出願番号）：特開平7-325051
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：

【要約】【目的】 2つの電位コントラスト像を精度よく、アライメント補正することができる画像のアライメント補正方法を提案する。【構成】 2つの画像の双方に4つ以上の比較対応点を設定し、この4つ以上の比較対応点の相互の位置ずれからアライメント補正量を求める。

請求項（抜粋）：

相互に近似したパターンを持つ2枚の画像を重ね合せ、これら2枚の画像の差像を求めて画像の異なる部分が有るか否かを調べる装置において、上記2枚の画像上に互に対応する4点以上の比較対応点を設定し、この4点以上の比較対応点の座標を基に位置合せのための演算処理を実行することを特徴とする画像のアライメント補正方法。

IPC (3件)：

G01N 23/225 ,  G01B 15/00 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-006409
  
• 画像処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-091277   出願人：シチズン時計株式会社
• 特開平3-006409