特許
J-GLOBAL ID：200903043805821848
粒状多結晶シリコンの製造方法
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
池浦 敏明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-306354
公開番号（公開出願番号）：特開平6-127927
出願日： 1992年10月20日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：
【要約】【目的】 流動層法による粒状多結晶シリコンの製造方法において、反応器壁に対するシリコンの析出を効果的に防止するとともに、気相中でのシラン化合物の分解による微粉シリコンの発生を効果的に抑制し、反応器寿命が長く、反応を安定的に長時間連続して行うことのできる方法を提供する。【構成】 シリコン粒子が流動化されている流動層反応器を用いてシラン化合物をその流動化シリコン粒子上で熱分解させて粒状多結晶シリコンを製造するに際し、種シリコンを反応温度又はその付近の温度まで加熱して反応器内に供給することを特徴とする粒状多結晶シリコンの製造方法。
請求項（抜粋）：
シリコン粒子が流動化されている流動層反応器を用いてシラン化合物をその流動化シリコン粒子上で熱分解させて粒状多結晶シリコンを製造するに際し、種シリコンを反応温度又はその付近の温度まで加熱して反応器内に供給することを特徴とする粒状多結晶シリコンの製造方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
