特許
J-GLOBAL ID：200903043806670231
静電容量型加速度センサの非線形性の補正方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-143890
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313552
出願日： 1995年05月17日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】【目的】 X,Y,Z軸間の干渉がなく、温度による変化のない、3軸加速度センサを実現する静電容量型加速度センサの非線形性の補正方法。【構成】 静電容量型加速度センサにおいて、静電容量素子C1〜C5の電気信号より、X軸方向の1組の素子の電気信号差(C1-C3)、Y軸方向の1組の素子の電気信号差(C2-C4)を演算する際に、その各電気信号を加速度に比例する値に補正演算した後に該差分演算を行うことにより、出力の直線性を確保する。【効果】 静電容量に比例した電気信号を取扱う場合や寄生容量の影響が無視できない場合にも加速度に対する直線性が得られる。
請求項（抜粋）：
固定基板と可撓基板との各対向面に電極を着設して対向配置される静電容量素子を複数対設け、該基板面に平行なXY平面を設定しこれと直交するZ軸のX,Y,Z軸3次元方向の加速度の変化を、複数対の静電容量素子間の静電容量変化に基づき各X,Y,Z軸方向成分の検出を行う静電容量型加速度センサにおいて、各容量素子の電気信号を軸方向で対になる素子間の差分演算して各X,Y,Z軸方向成分の検出を行うに際し、差分演算をする前にその各電気信号を加速度に比例する値に補正演算することを特徴とする静電容量型加速度センサの非線形性の補正方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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