特許
J-GLOBAL ID：200903043808685848
三次元測定プロ-ブ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-231672
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082238
出願日： 1992年08月31日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】被測定物に損傷を与えることなく、測定精度が高い三次元測定プロ-ブを提供することにある。【構成】弾性変形可能な平行ばね6と、この平行ばね6に取付けられ先端にプロ-ブ球12aを有するとともにプロ-ブ球12aを被測定物4に接触させながら移動し、被測定物4の表面の凹凸に応じて平行ばね6を弾性変形させる接触体12と、平行ばね6の変形量を光てこ式に検出する検出部9とを具備した。
請求項（抜粋）：
弾性変形可能なプロ-ブ本体と、このプロ-ブ本体に取付けられ先端に球体を有するとともに上記球体を被測定物に接触させながら移動し、上記被測定物の表面の凹凸に応じて上記プロ-ブ本体を弾性変形させる接触体と、上記プロ-ブ本体の変形量を光てこ式に検出する検出部とを具備した三次元測定プロ-ブ。
IPC (3件)：
G01B 11/24 101
, G01B 11/03
, G01B 21/20 101
