特許
J-GLOBAL ID：200903043815440737
試料保持装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-076900
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283513
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【構成】 アルミニウム合金からなる導電体1の表面に、陽極酸化による陽極酸化被膜2が形成されている試料台30を備えている試料保持装置。【効果】 導電体1の全表面に隈無く一様な陽極酸化被膜2を形成することができ、耐電圧特性および試料吸着力を大幅に向上させることができる。
請求項（抜粋）：
表面に絶縁被膜を有する導電体によって構成された試料台に載置された試料と、前記導電体との間に直流電圧を印加することによって、前記試料台に前記試料を吸着する試料保持装置において、前記導電体がアルミニウム合金、前記絶縁膜がアルミニウム合金の陽極酸化膜で形成されていることを特徴とする試料保持装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, B25J 15/06
, H02N 13/00
