レジスト樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-166738
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357896
出願日： 2001年06月01日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】伸び、最大応力が大きく、耐冷熱衝撃性、耐熱性等に優れ、且つ特性に優れたレジスト組成物を得る。【解決手段】添加剤として、中に弾性を有する球状樹脂、最外層に無機層を有する多重構造の球状粉体を配合してレジスト組成物とする。また、樹脂成分に多官能性シアン酸エステル化合物を用いてレジスト組成物とする。【効果】低弾性率で、伸び、最大応力が大きく、耐冷熱衝撃性、耐熱性、耐マイグレーション性等に優れたレジスト組成物が得られた。

請求項（抜粋）：

永久保護皮膜用レジストにおいて、少なくとも、中にゴム弾性を有する樹脂層が存在し、最外層を無機質層で被覆された多重構造の球状粉体を必須成分として配合してなるレジスト樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/038 501 , G03F 7/40 501

FI (3件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/038 501 , G03F 7/40 501

Fターム (24件)：

2H025AA10 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC51 , 2H025BC85 , 2H025CA01 , 2H025CA18 , 2H025CA48 , 2H025CC08 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA26 , 2H096BA05 , 2H096BA06 , 2H096BA20 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H096JA04

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