特許
J-GLOBAL ID：200903043825386692
石英系ガラス光導波路の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-302955
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159639
出願日： 1993年12月02日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 加工工程が容易になり、かつ、厚膜化が容易で、石英系ガラス光導波膜に対して良好な選択比がなくとも、良好に光導波膜を加工可能なマスク材を使用して、石英系ガラス光導波膜を加工し、伝搬損失の小さな単一モード石英系ガラス光導波路を製造する方法を提供する。【構成】 基板1上に形成された石英系ガラス光導波膜2の表面にノボラック樹脂を主成分とするポジ型フォトレジスト膜3を所望のパターン状に形成した後ベーキングし、続いてこのパターン状フォトレジスト膜31をマスクとして、フッ素系ガスを用いたドライエッチングにより石英系ガラス光導波膜2を加工して光導波路21を形成し、パターン状フォトレジスト膜31を除去する。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された石英系ガラス光導波膜表面にノボラック樹脂を主成分とするポジ型フォトレジスト膜を所望のパターン状に形成した後ベーキングし、続いて該パターン状フォトレジスト膜をマスクとして、フッ素系ガスを用いたドライエッチングにより石英系ガラス光導波膜を加工することを特徴とする単一モード石英系ガラス光導波路の製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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