特許
J-GLOBAL ID：200903043825792100
光結合装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鳥井 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-336529
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151813
出願日： 1992年11月04日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】[目的] 同一基板上に離間して互いに光結合するように形成された各光素子の上を光屈折率整合用膜によっておおうことによりその光素子間の凹部をその光屈折率整合用膜によって埋めるようにする場合、その凹部を埋める光屈折率整合用膜に空包状の巣が入って光結合の効率が低下することがないようにする。[構成] 各光素子の間における凹部の一部分を埋める厚さに第1の光屈折率整合用膜をCVD法によって形成する工程と、その凹部における未埋の部分が埋まる厚さに垂直方向に膜を選択的に成長させることのできるスパッタ法などの方向性をもったデポジット法によって第2の光屈折率整合用膜を形成する工程とをとる。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された第1の光素子と、その第1の光素子に離間してそれと光結合するように同一基板上に形成された第2の光素子との間を、光屈折率整合用膜によって埋めるようにした光結合装置にあって、第1の光素子と第2の光素子との間における凹部の一部分を埋める厚さに第1の光屈折率整合用膜をCVD法によって形成する工程と、その凹部における未埋の部分が埋まる厚さに垂直方向に膜を選択的に成長させることのできる方向性をもったデポジット法によって第2の光屈折率整合用膜を形成する工程とをとるようにした光結合装置の製造方法。
IPC (6件)：
H01L 27/15
, G01C 19/66
, G02B 6/12
, G02B 6/28
, H01S 3/083
, H01S 3/18
