特許
J-GLOBAL ID:200903043826778047

動圧軸受け、動圧軸受け製造方法、モータ、及び回転体装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 川井 隆 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-218540
公開番号(公開出願番号):特開2000-027853
出願日: 1998年07月15日
公開日(公表日): 2000年01月25日
要約:
【要約】【課題】 良好な耐久性で、容易に製造可能な動圧軸受けを提供すること。【解決手段】 中空部を備える筒状の外筒部材1と、外筒部材11の中空部に嵌装された内柱部材12と、この内柱部材12の両端に取り付けられ、それぞれ外筒部材11の上端面または下端面に対面するスラストプレート13,14を備え、内柱部材12は円柱状の基材12aとその周面の表面の水素化アモルファスダイアモンド層12bとを備え、動圧発生溝12cは水素化アモルファスダイアモンド層12bの表面から基材12aの内側に亘る深さまでに穿設されている。スラストプレート13,14は、円板形状の基材と基材の平面に形成された水素化アモルファスダイアモンド層13b,14bと、水素化アモルファスダイアモンド層13b,14bの表面から基材の内側に亘る深さの動圧発生溝とを備えている。
請求項(抜粋):
中空部を備える筒状の外筒部材と、前記中空部に嵌装され前記外筒部材に対して相対的に回転する中空又は中実の内柱部材と、前記外筒部材と前記内柱部材との対向面のうちの一方の面に穿設される動圧発生溝とを備え、前記動圧発生溝が穿設される前記外筒部材と前記内柱部材との前記対向面に水素化アモルファスダイアモンド層が形成されており、前記動圧発生溝は前記水素化アモルファスダイアモンド層が形成された基材の内側までに亘って穿設されていることを特徴とする動圧軸受け。
IPC (3件):
F16C 17/10 ,  F16C 33/20 ,  H02K 7/08
FI (3件):
F16C 17/10 A ,  F16C 33/20 Z ,  H02K 7/08 A
Fターム (16件):
3J011AA04 ,  3J011BA02 ,  3J011BA08 ,  3J011CA02 ,  3J011DA02 ,  3J011QA01 ,  3J011QA04 ,  3J011SE02 ,  5H607AA03 ,  5H607BB01 ,  5H607BB15 ,  5H607CC01 ,  5H607DD03 ,  5H607GG07 ,  5H607GG12 ,  5H607KK06
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 気体動圧軸受
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-350411   出願人:株式会社荏原製作所
  • 特開平3-257117
  • 特開平4-203616
全件表示

前のページに戻る