特許
J-GLOBAL ID:200903043828107743
マグネトロンプラズマ用磁場発生装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山本 亮一 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-140678
公開番号(公開出願番号):特開平11-329788
出願日: 1998年05月22日
公開日(公表日): 1999年11月30日
要約:
【要約】【課題】 カレンダー成形法による成形加工に際し、優れた金属ロール剥離性を有し、極めて経済的に生産することができるとともに、環境問題にも対応できるポリ乳酸系樹脂シート及びその製造方法を提供する。【解決手段】 ポリ乳酸系樹脂100重量部に対して、シリコーン及び滑剤をそれぞれ0.05〜2.95重量部の範囲で、かつこれらの合計量を3.0重量部以下添加配合してなる樹脂組成物をカレンダー成形してなるポリ乳酸系樹脂シートであり、カレンダー成形に際して、前記ポリ乳酸系樹脂及び前記樹脂組成物の含水率を2.0%以下で成形する。
請求項(抜粋):
複数の柱状の異方性セグメント磁石が、リング状に配置されたダイポールリング磁石を備えたマグネトロンプラズマ用磁場発生装置であって、上記ダイポールリング磁石の上端面もしくはその近傍に磁性体リングを配置したことを特徴とするマグネトロンプラズマ用磁場発生装置。
IPC (3件):
H05H 1/46
, C23C 14/35
, C23F 4/00
FI (3件):
H05H 1/46 A
, C23C 14/35 C
, C23F 4/00 G
引用特許:
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