特許

J-GLOBAL ID：200903043841168514

凹凸検出方法および装置

発明者： 大和田 優
出願人/特許権者： 日産自動車株式会社
代理人 (1件)： 小塩 豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-047205
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260456
出願日： 1994年03月17日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 硬くて変形しにくい物体でも、その表面に存在する凹凸の大きさや分布などを精度よく測定することができる凹凸検出方法を提供する。【構成】 透明体2の凹凸検出面2bの外側に、ポリビニルブチラールからなる弾性フィルム6を介して被測定物8を押し当て、透明体内に入射させた拡散光を前記弾性フィルム6の研削砥石(被測定物)10との当接面で反射させ、当該反射光に基づいて、研削砥石10表面の凹凸データを得る。

請求項（抜粋）：

透明体内に入射させた拡散光を当該透明体の凹凸検出面で反射させ、該凹凸検出面からの反射光を検出することによって、前記透明体の凹凸検出面外側に当接させた被測定物の表面に存在する凹凸を検知する凹凸検出方法において、前記透明体の凹凸検出面との間に、光透過性のある弾性フィルムを介在させて被測定物を当接させることを特徴とする凹凸検出方法。

IPC (4件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 7/60

FI (2件)：

G06F 15/62 415 ,  G06F 15/70 350 G