特許
J-GLOBAL ID：200903043851949832
焦点検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-070656
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174552
出願日： 1994年04月08日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】擬合焦の発生を無くし、安定して高い合焦精度を実現することのできる焦点検出装置を提供することをを目的とする。【構成】この焦点検出装置は、プローブ光を結像レンズ23及び対物レンズ24を通して被測定面25に照射し、該被測定面25から反射した前記プローブ光を再び対物レンズ24及び結像レンズ23を通して受光光学系へ導き集光点前後の受光量から焦点位置を検出するものにおいて、前記対物レンズ25の像側焦点位置F1 ′と前記結像レンズ23の物体側焦点位置F2 とを一致させて両者を配置し、前記対物レンズ24と前記結像レンズ23の合成光学系でアフォーカル光学系を構成するようにした。
請求項（抜粋）：
プローブ光を結像レンズ及び対物レンズを通して被測定面に照射し、該被測定面から反射した前記プローブ光を再び対物レンズ及び結像レンズを通して受光光学系へ導き集光点前後の受光量から焦点位置を検出する焦点検出装置において、前記対物レンズの像側焦点位置と前記結像レンズの物側焦点位置とを一致させて両者を配置し、前記対物レンズと前記結像レンズの合成光学系でアフォーカル光学系を構成したことを特徴とする焦点検出装置。
IPC (2件)：
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