特許

J-GLOBAL ID：200903043852649956

シリコン切削廃液の処理方法

発明者： 生方 武文 ,  流川 博之 ,  廣 民人
出願人/特許権者： 住友シチックス株式会社
代理人 (1件)： 押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-309317
公開番号（公開出願番号）：特開平6-134469
出願日： 1992年10月22日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：

【要約】【目的】 既存の凝集沈殿分離処理装置や活性汚泥処理装を使用して、シリコン切削廃液をCODを始め放流レベルでの公共水域放流規制値を満足し、放流可能な廃水処理を実現するシリコン切削廃液の処理方法の提供。【構成】 シリコン切削廃液をカスケード式水槽1で受け、水素放出並びにシリコン切削屑の沈殿分離を行い、凝集沈殿処理槽2にて凝集剤を加え凝集沈殿させる。凝集沈殿処理槽2に入れる前に、カスケード式水槽1からの上澄水に原水槽4からの酸系排水を混合して所定のpH域に調整することができる。さらにカスケード式水槽1で十分に水素放出を行い凝集沈殿処理が十分に行われているため、放出槽6容量を大きくし処理水の滞留時間を長くすることで、COD処理が可能になる。

請求項（抜粋）：

シリコン切削廃液をカスケード式水槽で水素放出並びにシリコン切削屑の沈殿分離を行った後、その上澄水にpH調整しかつ凝集剤を添加して凝集沈殿分離処理し、さらにろ過して放流することを特徴とするシリコン切削廃液の処理方法。

IPC (8件)：

C02F 1/52 ZAB ,  B01D 21/01 ZAB ,  B01D 36/04 ZAB ,  C02F 1/20 ZAB ,  C02F 9/00 ,  C02F 9/00 ZAB ,  H01L 21/304 ZAB ,  H01L 21/304 321