特許
J-GLOBAL ID：200903043853720417
変位測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 実三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-308907
公開番号（公開出願番号）：特開平6-185950
出願日： 1992年11月18日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】 相対移動する2つの部材間の相対変位量を周囲の温度変化に影響されず、高精度に測定できる変位測定装置を提供する。【構成】 スケール32とスケールベース28とを各々異なる線膨張係数の材料で形成するとともに、スケール32をスケールベース28に対して押さえばね34で押圧して取付け、スケール32とスケールベース28間、押さえばね34とスケール32間に各々摩擦低減材30,36を介在させている。このため、環境温度が変化したとしても、スケール32とスケールベース28は自由に伸縮するので熱応力の影響を受けずにすみ、測定精度の悪化が防止される。
請求項（抜粋）：
相対移動する一方の部材に取付けられるとともに、その一方の部材と異なる線膨張係数の材料で形成され且つ相対移動する方向に沿って目盛りを有するスケールと、前記相対移動する他方の部材に取付けられ前記スケールの目盛りを読み取る検出器とを備え、前記スケールは前記一方の部材に対して弾性部材によって押圧されて取付けられているとともに、前記一方の部材とスケールとの間には摩擦低減材が介在されていることを特徴とする変位測定装置。
IPC (2件)：
G01B 5/20 101
, G01B 21/02
