特許
J-GLOBAL ID：200903043864438632
電界センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-149623
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313577
出願日： 1995年05月23日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】【目的】 温度ドリフトが少なく、しかもセンサ感度の高い導波路型電界センサの提供を目的とする。【構成】 ニオブ酸リチウム単結晶基板9上に形成された変調電極5間に、誘電率3以下のシリコーン樹脂12を塗布し、さらに変調電極全面に半導電性樹脂13を形成した導波路型電界センサ。
請求項（抜粋）：
印加される電界強度に応じて、透過する光の強度が変化するように構成された電界センサヘッドと、電界センサヘッドに接続された電界受信用アンテナ、光ファイバ及び該光ファイバーの一端に接続された光源、透過光を検出するための光検出器から構成され、前記電界センサヘッドが、電気光学効果を有する基板上に形成された入射光導波路と、そこから分岐した二つの位相シフト光導波路と、それが合流する出射光導波路と、前記分岐された二つの位相シフト光導波路の近傍に形成した変調電極からなる電界センサにおいて、少なくとも前記変調電極間に、誘電率3以下(0を含まず)の樹脂系接着剤を塗布し、さらに前記変調電極全面に半導電性樹脂を塗布することを特徴とする電界センサ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01R 29/08 F
, G01R 29/08 D
, G02F 1/035
