特許
J-GLOBAL ID：200903043885364159
ロット管理方法とそれに用いるロット管理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-098470
公開番号（公開出願番号）：特開平6-290085
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】 データベースに記憶されている作業データを読み出して各製造ロットの各作業についての作業条件を指示するロット管理方法において、変更前のデータが残るようにデータベースの作業データの変更を行うことができるようにする。【構成】 上記データベースに記憶する作業データのファイルレイアウトを、その作業データが有効となる日時である発効日時を記憶する発効日時エリアと、その作業データが無効となる日時である無効日時を記憶する無効日時エリアを有するものにし、各作業データはそれぞれ発効日時エリアに記憶された発効日時と無効日時エリアに記憶された無効日時との間の期間のみ有効なデータとして存続し、その作業が履行対象となるようにする。
請求項（抜粋）：
各製造ロットに対して各一連の作業各々についての作業条件等に関する作業データをデータベースに予め記憶しておき、そのデータベースに記憶されて作業データを読み出して各製造ロットの各作業についての作業条件を指示するロット管理方法において、上記データベースに記憶する作業データのファイルレイアウトを、その作業データが有効となる日時である発効日時を記憶する発効日時エリアと、その作業データが無効となる日時である無効日時を記憶する無効日時エリアを少なくとも有するものにし、各作業データはそれぞれ発効日時エリアに記憶された発効日時と無効日時エリアに記憶された無効日時との間の期間のみ有効なデータとして存続し、その作業が履行対象となるようにすることを特徴とするロット管理方法
IPC (3件)：
G06F 12/00 501
, G06F 15/21
, H01L 21/02
