特許
J-GLOBAL ID：200903043897303058
透過率測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-037392
公開番号（公開出願番号）：特開平7-243969
出願日： 1994年03月08日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 同じ試料を繰り返し測定した場合に、その透過率のばらつきを少なくする。【構成】 光源1の光束を分割手段4により2分し、一方を第1光電変換素子5aに導き、もう一方を試料6に透過させた後、第2光電変換素子5bに導く。5a、5bの出力の比を演算し、透過率を求める。ピンホール3、分割手段4、素子5aを第1ステージ10aに搭載し、素子5bを第2ステージ10bに搭載する。その上で、両ステージをコントローラ12により所定の相関関係をとりながら、試料6に対して平行移動させることが好ましい。
請求項（抜粋）：
光源と、該光源からの光束を第1光束、第2光束に分割する光束分割手段と、前記第1、第2光束をそれぞれ受光して電気信号に変換する第1、第2光電変換素子からなり、前記光束分割手段と第2光電変換素子の間の光軸上に配置された試料の透過率を測定することを特徴とする透過率測定装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
