特許

J-GLOBAL ID：200903043900874398

マウント装置

発明者： 由井 敬清
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-067468
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236151
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】 マウント上の露光装置に対する異常な振動による悪影響を防止する。【解決手段】 露光装置1をマウントしているマウント2と、前記露光装置の振動を検知する振動検知手段3aと、この振動検知手段の出力に基づいて停止信号を出力する停止制御手段7と、この停止信号に応じて前記マウントの動作を停止させる停止手段6とを具備する。

請求項（抜粋）：

露光装置をマウントしているマウントと、前記露光装置の振動を検知する振動検知手段と、この振動検知手段の出力に基づいて停止信号を出力する停止制御手段と、この停止信号に応じて前記マウントの動作を停止させる停止手段とを具備することを特徴とするマウント装置。

IPC (3件)：

F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

F16F 15/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 F