特許

J-GLOBAL ID：200903043904397217

導電性ボール搭載装置及び導電性ボール搭載方法

発明者： 中里 真一
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-105071
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293756
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】 1つの吸着孔に導電性ボールが1個のみ真空吸着できる導電性ボールの搭載装置を提供することを目的とする。【解決手段】 導電性ボールの供給部21と、ワークの位置決め部29と、導電性ボール23を真空吸着する吸着孔が下面に形成されたヘッド42と、供給部と位置決め部との間を移動させる移動手段と、吸着孔以外に位置し、かつヘッドの下面に付着するエキストラボールを取り除く除去治具27とを備え、吸着孔の周囲には導電性ボールの上部を収納する凹部が形成されており、エキストラボールを取除くべく、移動手段によって除去治具に対してヘッドを相対的に移動させる際、除去治具の上端縁の位置が、ヘッドの下面から導電性ボールの直径だけ下方にある下限位置と、下限位置よりも凹部の高さだけ上方にある上限位置との間にあるようにしてある。

請求項（抜粋）：

導電性ボールの供給部と、ワークの位置決め部と、下面に1個の導電性ボールの上部を収納する凹部とこの凹部に連通する吸着孔が下面に形成されたヘッドと、前記ヘッドを前記供給部と前記位置決め部との間を移動させる移動手段と、前記凹部以外に位置し、かつ前記ヘッドの下面に付着するエキストラボールを取り除く除去治具とを備え、エキストラボールを取除くべく、前記移動手段によって前記除去治具に対して前記ヘッドを相対的に移動させる際、前記除去治具の上端縁の位置が、前記ヘッドの下面から導電性ボールの直径だけ下方にある下限位置と、前記下限位置よりも前記凹部の高さだけ上方にある上限位置との間にあるようにしてあることを特徴とする導電性ボール搭載装置。

IPC (3件)：

H01L 21/60 311 ,  B23P 21/00 305 ,  H01L 21/321

FI (4件)：

H01L 21/60 311 S ,  B23P 21/00 305 B ,  H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/92 604 Z