特許
J-GLOBAL ID：200903043908209776
半導体加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 博光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-183493
公開番号（公開出願番号）：特開平6-027136
出願日： 1992年07月10日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】 半導体加速度センサの製造において、ギャップ間隔の制御を容易として歩留まりを向上させ得る。【構成】 センサチップ17の深部2に形成された可撓部3と、該可撓部3に設けられた歪みセンサ4と、該可撓部3につながる作用部5に設けられた重り6とからなるセンサチップ17を有し、可撓部3、作用部5、及び、重り6との間にギャップgap1、gap2のある状態で前記センサチップ17の上部、下部に平坦なガラス基板からなるストッパー部材18A、18Bを接合した半導体加速度センサであって、前記センサチップ17と上部、下部のストッパー部材18A、18Bの接合部19にギャップgap1、gap2の間隔に相当する膜厚のアルミニウム薄膜20を形成する。
請求項（抜粋）：
チップ深部に形成された可撓部と、該可撓部に設けられた歪みセンサと、該可撓部につながる作用部に設けられた重りとからなるセンサチップを有し、可撓部、作用部、及び、重りとの間にギャップのある状態で前記センサチップの上下にストッパー部材を接合した半導体加速度センサにおいて、前記センサチップとストッパー部材の接合部にギャップの間隔に相当する膜厚の薄膜体を形成したことを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (2件)：
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