特許
J-GLOBAL ID：200903043918035504
ウエハノッチ部の鏡面加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
澁谷 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-333862
公開番号（公開出願番号）：特開平8-168947
出願日： 1994年12月16日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：
【要約】【目的】 半導体ウエハの周縁に形成したノッチの鏡面加工装置を提供する。【構成】 周縁及びノッチに面取りをした半導体ウエハ10を固定するウエハチャックテーブル12と、半導体ウエハ10と直交して当接し、ノッチ表面を回転しながら鏡面加工する研磨ディスク8と、ウエハチャックテーブル12をウエハ水平位置から所定角度傾斜させるウエハ傾斜手段と、研磨ディスク8を回転させるためのモータ1と、モータ1で駆動されるとともにその一端が研磨ディスク8に連結されたスピンドル6と、スピンドル6を保持すると共にモータを載置する主軸台5と、主軸台5をスライドさせるスライド手段14と、スライド手段14を荷重する荷重手段19とを備え、スライド手段14を荷重することにより研磨ディスク8の回転中心に向けてノッチの鏡面加工箇所を当接させ、ウエハノッチ面を鏡面加工する。また、研磨ベルト、研磨テープを用いても実施できる。
請求項（抜粋）：
その周縁部及びノッチ部に所定角度面取りをした円盤状ウエハを固定するウエハ固定手段と、前記円盤状ウエハと交差して当接し、前記ノッチ部表面を回転しながら鏡面加工する円盤状鏡面加工手段と、前記ウエハ固定手段をウエハ水平位置から所定角度傾斜させるウエハ傾斜手段と、前記円盤状鏡面加工手段を回転させるための駆動手段と、該駆動手段で駆動されるとともにその一端が前記円盤状鏡面加工手段に連結された回転力伝達手段と、該回転力伝達手段を保持すると共に前記駆動手段を載置する主軸台と、該主軸台をスライドさせるスライド手段と、前記スライド手段を荷重する荷重手段とを備え、前記スライド手段を荷重することにより前記円盤状鏡面加工手段の回転中心に向けて前記ノッチ部鏡面加工箇所を当接させることを特徴とするウエハノッチ部の鏡面加工装置。
IPC (2件)：
B24B 9/00
, H01L 21/304 321
