特許

J-GLOBAL ID：200903043920828350

(020)配向ペロブスカイト型ニオブ酸カリウム薄膜及び該薄膜を有する弾性表面波素子

発明者： 山之内 和彦 ,  小田川 裕之 ,  小島 俊之 ,  橋間 英和 ,  小西 明男
出願人/特許権者： 山之内 和彦 ,  日本山村硝子株式会社
代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-285418
公開番号（公開出願番号）：特開平11-116397
出願日： 1997年10月17日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】圧電性に優れた(020)配向ペロブスカイト型ニオブ酸カリウム薄膜及び該薄膜を有する電気機械結合性の良好な弾性表面波素子を提供する。【解決手段】結晶基板上に物理蒸着法(PVD法)で作製した(020)配向ペロブスカイト型ニオブ酸カリウム薄膜、及び、(020)配向ペロブスカイト型ニオブ酸カリウム薄膜を有することを特徴とする弾性表面波素子。

請求項（抜粋）：

結晶基板上に物理蒸着法(PVD法)で作製した(020)配向ペロブスカイト型ニオブ酸カリウム薄膜。

IPC (2件)：

C30B 29/30 ,  H03H 9/25

FI (2件)：

C30B 29/30 A ,  H03H 9/25 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 波長変換素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-048528   出願人：パイオニア株式会社
• 特開平4-170396
  
• 特開昭61-163189