薄板材の平坦度測定装置および方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-143282
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340538
出願日： 2001年05月14日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】 0.5mm〜2mmの比較的大きなスポット径で薄板材の広範囲にわたって高精度に厚み変動を測定する。【解決手段】レーザ発生器11から出射されアイソレータ16を透過したレーザ光を測定光と参照光とに分割する偏光ビームスプリッタ20を設ける。偏光ビームスプリッタ20と測定面の間、および偏光ビームスプリッタ20と参照面の間に四分の一波長板21を設ける。測定面で反射し偏光ビームスプリッタ20で反射した測定光と、参照面22で反射し偏光ビームスプリッタ20を透過した参照光とを集光して反射する集光反射手段23,24を設ける。偏光ビームスプリッタ20から戻る測定光と参照光を反射するハーフミラー19を設ける。ハーフミラー19で反射された測定光と参照光を受光して干渉させ、この干渉光強度変化を電気信号に変換し、この電気信号をカウントして測定面の平坦度を測定する受光部13を設ける。

請求項（抜粋）：

レーザ発生器から出射されアイソレータを透過したレーザ光を測定光と参照光に分割し、測定光を薄板材の測定面に照射し、参照光を前記測定面に垂直に配置された参照面に照射する偏光ビームスプリッタと、該偏光ビームスプリッタと前記測定面の間に配置され、前記測定光が透過する四分の一波長板と、前記偏光ビームスプリッタと前記参照面の間に配置され、前記参照光が透過する四分の一波長板と、前記測定面で反射し前記偏光ビームスプリッタで反射した測定光と、前記参照面で反射し前記偏光ビームスプリッタを透過した参照光とを集光して反射する集光反射手段と、前記偏光ビームスプリッタから戻る前記測定光と参照光を反射するハーフミラーと、該ハーフミラーで反射された前記測定光と参照光を受光して干渉させ、この干渉光強度変化を電気信号に変換し、この電気信号をカウントして測定面の平坦度を測定する受光部とからなる光プローブを備えたことを特徴とする薄板材の平坦度測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/30 101 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01B 11/30 101 A , H01L 21/66 J

Fターム (21件)：

2F065AA47 , 2F065BB03 , 2F065CC19 , 2F065DD06 , 2F065FF52 , 2F065GG05 , 2F065HH04 , 2F065HH09 , 2F065JJ01 , 2F065LL12 , 2F065LL17 , 2F065MM04 , 2F065PP02 , 2F065PP13 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106CA24 , 4M106DB02 , 4M106DB08 , 4M106DB13 , 4M106DB14

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