特許

J-GLOBAL ID：200903043945407073

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 山岡 亜夫 ,  竹内 江津 ,  番場 敏夫 ,  竹田 敏郎
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-165320
公開番号（公開出願番号）：特開平5-011451
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：

【要約】【構成】 一般式(1),(2),(3)で示される基を有するモノマー(A),(B),(C)【化1】について、(B)と(C)の割合を(B)2〜100モル%、(C)0〜98モル%とし、かつ(A),(B),(C)を (A)/{(B)+(C)}= 0.9〜1.1 の割合で重合した重合度 2〜500のポリベンゾオキサゾール前駆体(D)に、式(4)で示されるポリアミド酸(E)、【化2】一般式(5)で示される4-(2'-ニトロフェニル)-1,4-ジヒドロピリジン化合物(F)、【化3】感光性キノンジアジド化合物(G)を(D)100重量部に対して(E)10〜200重量部、(F)0.5〜99.5重量部、(G)0.5〜99.5重量部、(F)と(G)の和が1重量部以上100重量部以下を配してなるポジ型感光性樹脂組成物。【効果】 高いコントラスト、シリコン酸化膜等の基板に対する高い密着性を有するポジ型感光性樹脂組成物が得られる。

請求項（抜粋）：

一般式(1),(2),(3)で示される基を有するモノマー(A),(B),(C)【化1】について、(B)と(C)の割合を(B)2〜100モル%、(C)0〜98モル%とし、かつ(A),(B),(C)を (A)/{(B)+(C)}= 0.9〜1.1 の割合で重合した重合度 2〜500のポリベンゾオキサゾール前駆体(D)に、式(4)で示されるポリアミド酸(E)、【化2】一般式(5)で示される4-(2'-ニトロフェニル)-1,4-ジヒドロピリジン化合物(F)、【化3】感光性キノンジアジド化合物(G)を(D)100重量部に対して(E)10〜200重量部、(F)0.5〜99.5重量部、(G)0.5〜99.5重量部、(F)と(G)の和が1重量部以上100重量部以下を配してなるポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 522 ,  G03F 7/004 531 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/075 521 ,  H01L 21/027