グリーンシートの製造方法およびその製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：一色健輔 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-021814
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223353
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】積層チップ部品の製造に使用されるグリーンシートにおいて、導体薄膜パターンとの間でうまく密着を図れるとともに、ひび割れや欠けが生じにくく取扱いが容易でかつ製造工数の増加や製造工程の複雑化をあまり招かないで済むシートを製造すること【解決手段】グリーンシート10は、2層以上にわたって積層形成された薄膜層12と、各薄膜層12の層間に形成された剥離層14とを有する積層シートからなる。薄膜層12は、磁性体材料または誘電体材料からなるスラリーを薄層状に塗工して形成される。剥離層14は、例えばシリコン樹脂等の剥離材を薄膜層12の表面に塗布して形成されていて、各薄膜層12を相互に一体的に結着している一方、積層チップを製造すべく当該シート10を積層しホットプレスした際には、各薄膜層12が相互に相対的に滑り動けるように許容する。これにより、シート10に形成される導体薄膜パターンの形状に合わせて薄膜層12が柔軟に変形する。

請求項（抜粋）：

積層チップ部品の製造に使用されるグリーンシートの製造方法において、磁性体材料または誘電体材料からなるスラリーを薄く塗工して薄膜を形成する工程と、前記薄膜の表面に剥離材を塗工する工程とを繰り返して、前記薄膜と前記剥離材とが交互に形成されて一体化された積層シートを作成し、これをグリーンシートとすることを特徴とするグリーンシートの製造方法。

IPC (4件)：

H01G 4/12 364 , B28B 1/30 , H01F 41/02 , H05K 3/46

FI (5件)：

H01G 4/12 364 , B28B 1/30 , H01F 41/02 Z , H05K 3/46 T , H05K 3/46 H

Fターム (15件)：

4G052DA02 , 4G052DA08 , 4G052DB02 , 4G052DC06 , 5E001AB03 , 5E001AE00 , 5E001AH01 , 5E001AH05 , 5E001AH08 , 5E001AJ02 , 5E346DD07 , 5E346EE29 , 5E346GG01 , 5E346GG04 , 5E346HH31

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