研削装置およびウエハの研削方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-054497
公開番号（公開出願番号）：特開2000-216124
出願日： 1999年01月26日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】搬送時のウエハの破損率が小さい、かつ、長期使用においても電機系統の故障の少ない信頼性のある研削装置の提供。【解決手段】ウエハを搬送するロボットを天井吊り下げ型とし、かつ、左右方向に移動可能にし、研削時に生じた破砕傷を取り除くための研磨盤をインライン据付し、装置のコンパクト化を図る。

請求項（抜粋）：

(A)左側にウエハローディング用カセットを、右側にウエハアンローディング用カセットを対として前列に配置し、(B)基台の上にウエハローディング用カセットの後部にウエハ仮置台を、ウエハアンローディング用カセットの後部にウエハ洗浄機構を対として次列に配置し、(C)仮置台と洗浄機構の後部の基台の中央部を刳り抜いた箇所にインデックスターンテーブルを設け、かつこのインデックスターンテーブルに該テーブルの軸心を中心にm個(ただし、mは3から6の正数である。)のウエハチャック機構を等間隔に公転自在に設けるとともにウエハローディング/ウエハアンローディングゾーンおよび各研削ゾーンにテーブルを区域分けし、(D)インデックスターンテーブルの後列には基台より起立させた壁に各研削ゾーンに適した砥石をスピンドル軸に軸承させた(m-1)個の研削機構を各研削ゾーンに位置するウエハチャック機構に対応して設け、(E)前記1対のカセットの前列と前記仮置台とウエハ洗浄機構の次列の間の基台から立設した支柱に列方向に往復移動機構を設け、この往復移動機構に多関節型ロボットをロボットアームが下側となるように吊し、前記仮置台上のウエハをインデックスターンテーブルのウエハローディング/ウエハアンローディングゾーンのチャック機構に移送可能で、かつ、洗浄機構上のウエハをウエハアンローディング用カセットに搬送可能とした多関節型ロボット、(F)インデックスターンステーブルを設けた基台の略中央部の左右に設けた1対の軸を軸心として回動自在に備えられたウエハ吸着パッドを有する仮置台からウエハをウエハローディング/ウエハアンローディングゾーンのチャック機構に搬送する搬送パッドと、ウエハローディング/ウエハアンローディングゾーンのチャック機構上のウエハを洗浄機構に搬送する搬送パッド、を備える研削装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 631 , B24B 37/04 , H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/304 631 , B24B 37/04 , H01L 21/68 A

Fターム (24件)：

3C058AA04 , 3C058AA09 , 3C058AA18 , 3C058AB03 , 3C058AB08 , 3C058AC01 , 3C058AC05 , 3C058CB02 , 3C058CB05 , 3C058CB06 , 3C058DA17 , 5F031CA02 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA08 , 5F031GA10 , 5F031GA43 , 5F031GA48 , 5F031HA13 , 5F031MA22 , 5F031MA23 , 5F031MA24 , 5F031PA20

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