特許

J-GLOBAL ID：200903043962734231

可変面積型電子ビーム描画装置

発明者： 脇本 治
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-169042
公開番号（公開出願番号）：特開2002-367880
出願日： 2001年06月05日
公開日（公表日）： 2002年12月20日
要約：

【要約】【課題】 高いスループットで三角形と矩形の電子ビームを自由に成形できる可変面積型電子ビーム描画装置を実現するにある。【解決手段】 第2スリット40には、その中心部近傍に最大ビームサイズの矩形の開口部41が穿たれている。この矩形開口部41の周囲には45度の斜辺を有する直角三角形の開口部42a〜42dが配置されている。この4つの直角三角形開口部のそれぞれの長辺は矩形開口部41の頂点に向けられている。4つの三角形開口部の内の一つ42aは、矩形開口部41の頂点からその斜辺の中点までの距離が、最大ビームサイズWの約1.4倍(=√(2)・W)の位置に配置する。残る3つの三角形開口部42b,42c,42dは、矩形開口部41の頂点からそれぞれの斜辺の中点までの距離が、最大ビームサイズWの約0.7倍(=√(2)・W/2)の位置に配置する。

請求項（抜粋）：

電子ビームを矩形開口を有した第1のスリットを通過させ、矩形の電子ビームを第2スリットに照射し、第2スリットの開口を通過した電子ビームを被描画材料上に照射するようにした可変面積型電子ビーム描画装置において、第2スリットは、その中心部近傍に最大ビームサイズの矩形の開口部を設け、この矩形開口部の周囲に45度の斜辺を有する4つの直角三角形の開口部を配置し、この4つの直角三角形開口部のそれぞれの長辺は矩形開口部の頂点に向けられており、矩形開口部の頂点から特定の一つの三角形開口部の斜辺の中点までの距離を、少なくとも矩形開口部の対角線に等しい距離だけ離し、矩形開口部の頂点から他の三つの三角形開口部のそれぞれの斜辺の中点までの距離を、少なくとも矩形開口部の対角線の1/2に比しい距離だけ離すように構成したことを特徴とする可変面積型電子ビーム描画装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/305

FI (3件)：

G03F 7/20 504 ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 A

Fターム (8件)：

2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5C034BB04 ,  5C034BB05 ,  5F056AA04 ,  5F056CB15 ,  5F056EA04 ,  5F056EA06