特許

J-GLOBAL ID：200903043963441718

樹脂基板への金属膜形成方法

発明者： 山田 周吾
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 安藤 淳二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-182621
公開番号（公開出願番号）：特開2001-011644
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【課題】 樹脂基板に金属膜の密着が良好な樹脂基板への金属膜形成方法を提供する。【解決手段】 樹脂基板の表面に、この樹脂基板に用いられた樹脂を分解する光触媒の粒子を担持させ、紫外光を照射した後、超音波振動を与えながら水中洗浄を行ない、上記表面の光触媒の粒子を除去した後に、スパッタリング、真空蒸着、または、無電解めっきを施し金属を被覆する。

請求項（抜粋）：

樹脂基板の表面に、この樹脂基板に用いられた樹脂を分解する光触媒の粒子を担持させ、紫外光を照射した後、超音波振動を与えながら水中洗浄を行ない、上記表面の光触媒の粒子を除去した後に、スパッタリング、真空蒸着、または、無電解めっきを施し金属を被覆することを特徴とする樹脂基板への金属膜形成方法。

IPC (3件)：

C23C 18/20 ,  C23C 14/02 ,  H05K 3/38

FI (3件)：

C23C 18/20 Z ,  C23C 14/02 A ,  H05K 3/38 A

Fターム (30件)：

4K022AA13 ,  4K022AA15 ,  4K022AA18 ,  4K022AA19 ,  4K022AA23 ,  4K022AA32 ,  4K022AA36 ,  4K022BA08 ,  4K022CA02 ,  4K022CA12 ,  4K022CA17 ,  4K022DA01 ,  4K029AA11 ,  4K029BA08 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029DB21 ,  4K029DC39 ,  4K029FA02 ,  5E343AA12 ,  5E343DD23 ,  5E343DD25 ,  5E343DD33 ,  5E343EE05 ,  5E343EE32 ,  5E343EE36 ,  5E343EE37 ,  5E343EE60 ,  5E343GG02 ,  5E343GG11