特許

J-GLOBAL ID：200903043966032231

変位測定装置

発明者： 渡辺 裕 ,  石井 哲
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-325911
公開番号（公開出願番号）：特開平6-147922
出願日： 1992年11月10日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】 ロータリーエンコーダやリニアエンコーダー等において、装置の異常を容易に判定することができる異常検出手段を有した変位測定装置を得ること。【構成】 移動物体に設けたスケールを読取手段で読取り、該読取手段から出力されてくる略正弦波信号と略余弦波信号より位置又は角度に関するパルスを発生させ、該パルスを計数することにより該移動物体の変位情報を検出する際、該読取手段からの略正弦波信号と略余弦波信号の2乗の和信号の変化を検知する変化検知手段と、該変化検知手段からの信号に基づいて警告信号を出力する警告出力手段とを有する異常検出手段を設けたこと。

請求項（抜粋）：

移動物体に設けたスケールを読取手段で読取り、該読取手段から出力されてくる略正弦波信号と略余弦波信号より位置又は角度に関するパルスを発生させ、該パルスを計数することにより該移動物体の変位情報を検出する際、該読取手段からの略正弦波信号と略余弦波信号の2乗の和信号の変化を検知する変化検知手段と、該変化検知手段からの信号に基づいて警告信号を出力する警告出力手段とを有する異常検出手段を設けたことを特徴とする変位測定装置。