特許
J-GLOBAL ID:200903043969287257

高純度オゾンの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 北谷 寿一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-159720
公開番号(公開出願番号):特開平9-012304
出願日: 1995年06月27日
公開日(公表日): 1997年01月14日
要約:
【要約】【目的】 高純度のオゾンを効率よく製造できるようにする。【構成】 精製容器内のオゾン及び酸素の混合ガスを、大気圧状態で約110Kの第1設定温度へ冷却することによって、液体オゾン及び液体酸素の混合液体を生成させる。次いで、上記の精製容器を密閉した状態で、その精製容器内を約77.4Kの第2設定温度T2へ冷却する。引き続いて、同上の精製容器内を上記の第2設定温度T2に保った状態で真空ポンプによって排気していき、これにより前記の混合液体中の液体オゾンの濃度を高めていく。上記の真空ポンプのポンプ能力まで排気した後、その排気を継続しながら上記の精製容器内を約90.2Kの第3設定温度T3へ徐々に上昇させていき、これにより上記の液体オゾンの濃度がさらに高められる。
請求項(抜粋):
精製容器(2)内のオゾン及び酸素の混合ガスを、ほぼ大気圧状態で100Kから120Kの第1温度領域(A)内の第1設定温度(T1)へ冷却することによって、液体オゾン及び液体酸素の混合液体を生成させ、次いで、上記の精製容器(2)を密閉した状態で、その精製容器(2)内を、60Kから80Kの第2温度領域内で上記の第1設定温度(T1)よりも低い第2設定温度(T2)へ冷却し、引き続いて、同上の精製容器(2)内を上記の第2設定温度(T2)にほぼ保った状態で設定圧力まで排気し、その後、同上の精製容器(2)内を、排気しながら、90Kから120Kの第3温度領域内で前記の第2設定温度(T2)よりも高い第3設定温度(T3)へ上昇させる、ことを特徴とする高純度オゾンの製造方法。
IPC (2件):
C01B 13/10 ,  F25J 3/02
FI (2件):
C01B 13/10 Z ,  F25J 3/02 Z

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