特許
J-GLOBAL ID:200903043974603809
試料観察装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-213229
公開番号(公開出願番号):特開2004-053488
出願日: 2002年07月23日
公開日(公表日): 2004年02月19日
要約:
【課題】所望の環境条件下で試料の観察を容易に且つ精度良く行うことができる試料観察装置を提供する。【解決手段】ケーシング4と、ケーシング4内に設けられた支持手段20とを備え、支持手段20により着脱自在に支持された光透過性を有する試料Sを観察する装置であって、支持手段20は一対の内部反射鏡24,24を備えており、試料Sが支持された状態で、ケーシング4の一端側から入射した光が一方の内部反射鏡24で反射して試料Sを透過し、他方の内部反射鏡24で反射した後にケーシング4の一端側又は他端側から出射するように構成されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ケーシングと、該ケーシング内に設けられた支持手段とを備え、前記支持手段により着脱自在に支持された光透過性を有する試料を観察する装置であって、
前記支持手段は一対の内部反射鏡を備えており、前記試料が支持された状態で、前記ケーシングの一端側から入射した光が一方の前記内部反射鏡で反射して前記試料を透過し、他方の前記内部反射鏡で反射した後に前記ケーシングの一端側又は他端側から出射するように構成された試料観察装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (4件):
2G059DD15
, 2G059EE01
, 2G059JJ13
, 2G059KK04
引用特許:
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