特許
J-GLOBAL ID：200903043978060540
成膜装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 康文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-202812
公開番号（公開出願番号）：特開平5-044032
出願日： 1991年08月13日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：
【要約】【目的】MBE成長装置などのような成膜装置におけるガラス覗き窓のくもり防止装置に関し、ガラス覗き窓のくもりを効率的に防止し、清掃の頻度を低減可能とすることを目的とする。【構成】成膜室5の側壁にガラス覗き窓8を有している成膜装置において、成膜室5と前記ガラス覗き窓8との間のシャッター取付け筒7に、シャッター収納部18を有しており、該シャッター収納部18中に、シャッター収納部18の内径dよりも大きなシャッター12を1枚以上配設することで、シャッター取付け筒7を閉止可能とし、成膜室5の内部を覗くときに該シャッター12がシャッター取付け筒7から退避するように駆動する駆動源13を外部(大気中)に設け、前記シャッター12の駆動軸14と連結した構成とする。
請求項（抜粋）：
成膜室(5) の側壁にガラス覗き窓(8) を有している成膜装置において、成膜室(5) と前記ガラス覗き窓(8) との間のシャッター取付け筒(7) に、シャッター収納部(18)を有しており、該シャッター収納部(18)中に、シャッター収納部(18)の内径(d) よりも大きなシャッター(12)を1枚以上配設することで、シャッター取付け筒(7) を閉止可能とし、成膜室(5) の内部を覗くときに該シャッター(12)がシャッター取付け筒(7) から退避するように駆動する駆動源(13)を外部(大気中)に設け、前記シャッター(12)の駆動軸(14)と連結したことを特徴とする成膜装置。
IPC (3件)：
C23C 14/52
, C30B 23/08
, H01L 21/203
