差動排気システム及び露光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤元亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-107771
公開番号（公開出願番号）：特開2004-153231
出願日： 2003年04月11日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：

【課題】高いパルス光の利用効率と差動排気による所望の圧力差を両立して、光学素子の反射率等の性能を維持することができる差動排気システム及びそれを備えた露光装置を提供する。【解決手段】パルス光を発光する光源を収納する第1のチャンバに接続可能な第2のチャンバの圧力を当該第1のチャンバの圧力よりも低くする差動排気システムであって、前記第2のチャンバに前記パルス光を導入する導管部と、前記パルス光の発光時は前記第1のチャンバと前記第2のチャンバとを接続し、前記パルス光の発光時以外は前記第1のチャンバと前記第2のチャンバとの接続を遮断する接続制御機構を有することを特徴とする差動排気システムを提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

パルス光を発光する光源を収納する第1のチャンバに接続可能な第2のチャンバの圧力を当該第1のチャンバの圧力よりも低くする差動排気システムであって、前記第2のチャンバに前記パルス光を導入する導管部と、前記パルス光の発光時は前記第1のチャンバと前記第2のチャンバとを接続し、前記パルス光の発光時以外は前記第1のチャンバと前記第2のチャンバとの接続を遮断する接続制御機構を有することを特徴とする差動排気システム。

IPC (2件)：

H01L21/027 , G03F7/20

FI (5件)：

H01L21/30 516F , G03F7/20 521 , H01L21/30 531A , H01L21/30 517 , H01L21/30 515D

Fターム (5件)：

5F046BA05 , 5F046CB22 , 5F046DA27 , 5F046GA07 , 5F046GA09

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭58-119000
特開平2-156200
特開昭62-159427

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